薄膜生成技術（スパッタ条件）
ここはスパッタ装置にて、各種材料を薄膜作成したデータを保存しておくページです。 なお、スパッタ装置の取り扱い手順は
ここ
に書いてあります。
金属材料
プラチナ
Ptの成膜条件（１）
Ptの成膜条件（２）
酸化イリジウム
(IrO
x
)
（反応性スパッタ）
金属電極用材料
（各種）
有機材料
フッ化ランタン
(LaF
2
)
その他
五酸化タンタル
(Ta
2
O
5
)
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Last modified: Thu Oct 1 14:26:40 1998
